●型番:A182-60MB-0215●ウェハー径(mm):150(6″)●サイズ(mm):143.38×177.8×171.45●収納枚数:25枚●連続使用限界温度:120℃●材質:ナチュラルPFA(フッ素樹脂)●高温ウェハー投入限界温度:290℃ 商品区分キャリア材質PFA(フッ素樹脂)適合ウェハーサイズ6インチ●商品品番 aso 1-8204-04●JAN●メーカー型番A182-60MB-0215
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